Galvanik

Die Galvanik spielt in der Bearbeitung von Wafern eine wichtige Rolle, denn mithilfe dieses Prozesses wird die Oberfläche des Wafers z. B. nicht nur geschützt, sondern auch leitfähig gemacht. Zum Einsatz kommen dabei verschiedene Metalle, je nachdem, welcher Zweck mit der Galvanisierung verfolgt wird. Um das Verfahren genauer in den Blick zu nehmen, haben wir mit Dr. Andreas Thies, Leiter der Arbeitsgruppe »Backend« am Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik (Leibniz FBH) gesprochen. Im Interview erklärt der Experte, worauf bei der Galvanisierung besonders geachtet werden muss, welche Rolle das Thema Nachhaltigkeit spielt und was den Halbleiterherstellungsprozess aus seiner Sicht so einzigartig macht.
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