Waferprozesse & Masken

Wir bieten unseren Kunden seit vielen Jahren erfolgreich einzelne Prozessschritte oder Prozessmodule nach spezifischen Vorgaben an. Dafür nutzen wir unsere flexible und industriekompatible Prozesslinie für III/V-Verbindungshalbleiter – sprechen Sie uns an!

Waferprozesse

  • Technologieentwicklung für Bauelemente nach Kundenvorgaben
  • Pilotfertigung von Bauelementen
  • Entwicklung und Durchführung von Prozessschritten
    • Lithografie bis sub-µm
    • Ätzen
    • Dünnschichtabscheidung von Isolatoren und Metallen
    • Ionenimplantation
    • Lasermikrostrukturierung
    • Abdünnen
    • Sägen
    • Prozessbegleitende in-line Analytik

Weitere Informationen zu unserer Prozesstechnologie

Masken & Reticles

  • Chrombeschichtete Masken aus Quarzglas
  • Standardmasken 4", 5" und 6"