CSMANTECH 2014

Das FBH ist auf der internationalen Konferenz zu Halbleiter-Fertigungstechnologien mit folgenden Vorträgen vertreten:

• Yield Improvement of Metal-Insulator-Metal Capacitors in MMIC Fabrication Process based on AlGaN/GaN HFETs
• Implementation of Slanted Sidewall Gates Technology in the Fabrication of S-,X-, and Ka-band AlGaN/GaN HEMTs
• Sputtered Iridium Gate Module for GaN HEMT with Stress Engineering and High Reliability
• In-situ Curvature Measurements applied to MOVPE-based Growth of Edge-Emitting Diode Lasers

Konferenz: 19.-22.05.2014 Denver (USA)