apc|m conference

Bei der 22. European Advanced Process Control and Manufacturing (apc|m) Conference ist das FBH mit einem Beitrag vertreten. Dieser ist in Zusammenarbeit mit der LayTec AG entstanden. Anthony Martinez (LayTec AG) wird die gemeinsamen Ergebnisse in einem Vortrag vorstellen. 

• ICP-etching of GaN HFET structures: real time statistical process control of nm-thick GaN layers by means of End Point Detection