Leistungsfähige Ionenimplantation – Basis für innovative Halbleiter-Bauelemente
Das Berliner Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH) hat kürzlich einen leistungsfähigen Ionenimplanter der Firma High Voltage Engineering Europa B.V. in Betrieb genommen. Das sehr variable System erweitert die technologischen Möglichkeiten des FBH bei eigenen Forschungsarbeiten und Kundenprozessen. Mit drei verschiedenen Ionenquellen und der Fähigkeit Substrate zu heizen, eignet sich der Implanter ideal für die Entwicklung innovativer Halbleiterbauelemente.
