Front-end
Die Gruppe Front-end realisiert alle Prozessmodule zur Herstellung von Bauelementen auf Waferlevel. Die flexible Prozesslinie im Reinraumlaboratorium der Reinraumklassen ISO 5 und ISO 6 ermöglicht die Bearbeitung von Wafern unterschiedlicher Größen in Batch- und Einzelbetrieb. Alle Wafer werden überwiegend automatisiert mit industriell verfügbaren Prozessanlagen bearbeitet.
Folgende Prozessmodule sind standardmäßig vorhanden:
- Lithografie
- Ätztechniken
- Depositionstechniken
- Ionenimplantation
- DC-Messtechnik