Front-end

Die Gruppe Front-end realisiert alle Prozessmodule zur Herstellung von Bauelementen auf Waferlevel. Die flexible Prozesslinie im Reinraumlaboratorium der Reinraumklassen ISO 5 und ISO 6 ermöglicht die Bearbeitung von Wafern unterschiedlicher Größen in Batch- und Einzelbetrieb. Alle Wafer werden überwiegend automatisiert mit industriell verfügbaren Prozessanlagen bearbeitet. 

Folgende Prozessmodule sind standardmäßig vorhanden:

  • Lithografie
  • Ätztechniken
  • Depositionstechniken
  • Ionenimplantation
  • DC-Messtechnik