EFRE-Vorhaben

Applikationslabor III/V-Komponenten für Lasertechnik und Elektronik

Seit vielen Jahren transferiert das FBH seine Forschungsresultate erfolgreich an Unternehmen der Wirtschaft, insbesondere in Berlin und Brandenburg. Auf diese Weise hat das Institut eine umfassende Kompetenz in diesem Bereich etabliert. Im Rahmen des Applikationslabors „III/V-Komponenten für Lasertechnik und Elektronik“ wurde der Reifegrad der verfügbaren Technologien erhöht und damit das Leistungsspektrum des FBH noch stärker in Richtung der industriellen Anwendung entwickelt. Von Oktober 2017 bis 2022 flossen insgesamt 5,8 Millionen Euro Fördermittel aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) an das FBH.

Prozessierung von Wafern im Reinraum des FBH

Prozessierter Wafer mit monolithisch-integrierten InP-HBT-Schaltungen

GaAs-Hochleistungs-Breitstreifenlaser, Einzelemitter auf CCP-Mount

Die Tür zum Reinraum muss verbreitert werden, damit die neuen Anlagen in das erweiterte Applikationslabor hineintransportiert werden können

Das Projekt umfasste sowohl Investitionen zum Ausbau der technologischen Infrastruktur als auch Halbleiter-Technologie-Runs, um die Anlagen einzufahren und die Stabilität der Prozesse zu erhöhen. Zum einen wurde die Epitaxie-Basis mit einem Multi-Wafer-Reaktor für GaAs-Laserdioden und der zugehörigen Analysetechnik erweitert. Zum anderen Halbleiterprozesse für GaAs-Laser sowie für die GaN- und InP-Elektronik weiterentwickelt. Hinzu kam der Ausbau der Aufbau- und Verbindungstechnik für Laserdioden und Elektronik-Chips. Außerdem ging es um die Digitalisierung des Reinraums. Dazu wurden die Prozesssteuerung und Datenerfassung auf eine elektronische Version umgestellt.

Ausbau des Applikationslabors III/V-Komponenten für Lasertechnik und Elektronik – Reinraumumbau

Mit der Einrichtung des Applikationslabors baut das FBH seine technologische Basis stark aus. Es nutzt dafür auch einen bestehenden Reinraum in direkter Nähe zum FBH. Mithilfe des Vorhabens "Ausbau des Applikationslabors III-V-Komponenten für Lasertechnik und Elektronik-Reinraumumbau", das aus weiteren Fördermitteln aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) in Höhe von 4,47 Millionen Euro für einen Zeitraum von Oktober 2018 bis September 2022 finanziert wurde, konnten umfangreiche Auf- und Nachrüstungen sowie gerätebezogene Installationen vorgenommen werden. Damit wurden die technischen Anlagen im neuen Reinraum qualitativ auf das notwendige Level gebracht und der Ausbau des Applikationslabors gewährleistet.