Applikationslabor Sentech - Plasmaätzen

Via-Struktur in GaAs
Via-Struktur in GaAs, hergestellt mit dem ICP-Plasmaätzsystem SI 500

Die Firma SENTECH Instruments GmbH betreibt am FBH ihr Applikationslabor für Plasmatechnologien. In diesem Labor werden SENTECH-Plasmasysteme für die Weiterentwicklung von anspruchsvollen Ätzprozessen insbesondere für III/V-Halbleiter (GaAs, InP, GaN) optimiert. Die Plasmasysteme ermöglichen beispielsweise wirtschaftlich relevante Mikro- bzw. Nanostrukturierungen an inerten und harten Materialien wie Siliziumkarbid (SiC), dem Substratmaterial für Galliumnitrid-Bauelemente, durchzuführen. Interessierten Fachleuten können hier die Leistungsmerkmale der Anlagen marktwirksam demonstriert werden.

Die Nähe zum FBH bietet SENTECH zudem die Möglichkeit Technologie-Transferleistungen zu beauftragen, die direkt in die technologische Entwicklung bei SENTECH einfließen und die Grundlage für zukünftige Innovationen auf dem Gebiet der Plasmaätz- und Abscheidetechnik bilden.

SENTECH

SENTECH Instruments GmbH entwickelt, fertigt und vermarktet qualitativ hochwertige Dünnschichtmesssysteme (Reflektometer, Ellipsometer, spektroskopische Ellipsometer) und Plasma-Prozess-Technik (Ätzanlagen, Beschichtungsanlagen, kundenspezifische Lösungen).