Elektrische Prozessmesstechnik
Zur Charakterisierung von Schichten und Überwachung von Prozessschritten werden elektrische Messungen an Teststrukturen (PCMs = Process control monitors) und Testbauelementen (i.a. spezielle Transistoren) durchgeführt. Die Ergebnisse werden typisch als Verteilung von Parametern oder Kennlinien über den Wafer dargestellt.
Ausstattung:
- 2 halbautomatische Waferprober
- Nadelkarten mit bis zu 18 Nadeln
- Koplanare Messsonden
- Strommessungen bis <100 pA