Elektrische Prozessmesstechnik

Zur Charakterisierung von Schichten und Überwachung von Prozessschritten werden elektrische Messungen an Teststrukturen (PCMs = Process control monitors) und Testbauelementen (i.a. spezielle Transistoren) durchgeführt. Die Ergebnisse werden typisch als Verteilung von Parametern oder Kennlinien über den Wafer dargestellt.

Ausstattung:

  • 2 halbautomatische Waferprober
  • Nadelkarten mit bis zu 18 Nadeln
  • Koplanare Messsonden
  • Strommessungen bis <100 pA  
  • DC-Waferprober
    [+] DC-Waferprober
  • Schichtwiderstandsverteilung
    [+] Schichtwiderstandsverteilung über einen 3" GaN/SiC-Wafer