Materialanalytik

Die Materialanalytik ist integraler Bestandteil der Epitaxieentwicklung und der Qualitätssicherung am FBH. Durch den direkten und schnellen Zugang zu wichtigen Analysemethoden wie Röntgenbeugung, Fotolumineszenz, Elektrolumineszenz, Messung von Ladungsträgerprofilen oder Elektronenmikroskopie ist das FBH in der Lage, Epitaxieprozesse für neue Bauelementstrukturen schnell zu entwickeln. Diese rasche Rückkopplung zu den Epitaxieparametern ermöglicht auch die Herstellung sehr komplexer Schichtstrukturen mit exakt definierten Eigenschaften (z.B. Laserstrukturen mit integriertem Bragg-Gitter). Vertiefende Informationen über strukturelle Eigenschaften von Halbleiterstrukturen nach bestimmten Epitaxie- oder Prozessschritten können über die Transmissionselektronenmikroskopie, die im Rahmen einer Partnerschaft mit der Humboldt-Universtität zu Berlin entwickelt wird, gewonnen werden.

Analytik-Tool
Analytik-Tool zur Charakterisierung von Degradationsprozessen

Die Unterstützung durch die Materialanalytik ist unerlässlich für die Qualitätssicherung in der Epitaxie von Bauelementstrukturen. Die ständige Überprüfung der Schichteigenschaften, z.B. bei jeder neuen Charge von Ausgangsstoffen, sichert eine gleichbleibend hohe Qualität der Schichtstrukturen. Die Analyse von Bauelementen auf Ausfallursachen hilft darüber hinaus bei der Weiterentwicklung von Bauelementstrukturen und Bauelementprozessen.