Charakterisierung von elektronischen THz-Schaltungen

Elektronische Bauelemente und Schaltungen bei THz-Frequenzen können am FBH mithilfe eines automatisierten On-Wafer-Messsystems bis zu 500 GHz (ausbaufähig bis 1100 GHz) getestet werden. Das Messsystem verfügt über eine präzise halbautomatische Platzierung der Messspitzen (Genauigkeit <  3 µm) und ist in der Lage, selbstständig ganze Wafer zu steppen. Das FBH hat verlustarme Verbindungstechniken entwickelt (Einfügungsdämpfung < -0.5 dB @ 300 GHz) und verfügt über spezielle Methoden der Kalibrierung und des Aufbaus von Kalibrierstandards bis 500 GHz.

On-Wafer-Terahertz-Messplatz
On-Wafer-Terahertz-Messplatz

Darüber hinaus kooperiert das Institut mit NIST, PTB und industriellen Partnern im Bereich der Kalibier-Hardware und -Software. Der Fokus liegt dabei auf der Eliminierung der Mehrwellenausbreitung und der Kopplungseffekte, die einen starken Einfluss auf die Messungen oberhalb von 100 GHz haben. Das FBH hat zudem einen Messplatz für Großsignalmessungen von Leistungsverstärkern und Mischern bis 750 GHz aufgebaut, der derzeit auf den Frequenzbereich bis 1100 GHz ausgebaut wird. Weitere Charakterisierungsmöglichkeiten stehen bis zu 2500 GHz zur Verfügung – diese basieren auf der Toptica Terahertz Spectroscopy Platform TERASCAN 1550.