Terahertz-Elektronik

Mikroelektronik für die Terahertztechnologie

Die Terahertztechnologie steht vor dem Durchbruch in weite Anwendungsbereiche wie etwa der Medizintechnik, Materialprüfung, Radartechnik, Sicherheitstechnik, Lebensmitteltechnologie und Raumfahrttechnik. Dies liegt vor allem an den rasanten Entwicklungen in der Mikroelektronik hinsichtlich höherer Frequenzen sowie bei CW- und Femtosekunden-Infrarot-Lasern.

Schema Frontend-Modul
Schematische Darstellung eines Frontend-Moduls für Radar- und Kommunikationssysteme

Das FBH fokussiert sich im Bereich der Terahertz-Elektronik auf die Entwicklung einer Monolithisch Integrierten Mikrowellenschaltungs (MMIC)-Technologie mit Grenzfrequenzen bis über 1 THz. Diese beinhaltet die zugehörigen Schaltungen, Komponenten und Module. In naher Zukunft sollen spannungsgesteuerte Oszillatoren und Verstärker, Leistungsverstärker, Frequenzvervielfacher und Mischer mit Betriebsfrequenzen von 500 GHz entwickelt werden. Damit können kompakte integrierte Frontend-Module für Radar- und Kommunikationssysteme realisiert werden.

Die verwendete MMIC-Technologie basiert auf dem am FBH entwickelten InP-Transfer-Substrat HBT-Prozess mit derzeitigen Grenzfrequenzen über 400 GHz und anderen Halbleiter-Prozessen kooperierender Partner. Beim Schaltungsentwurf nutzt das FBH Standard CAD-Simulationswerkzeuge ergänzt durch 3D-EM-Simulationsumgebungen.

Die messtechnische Ausrüstung für den Frequenzbereich oberhalb von 110 GHz mit On-Wafer-Charakterisierungsmöglichkeiten bis zu 500 GHz ist im Aufbau.

Ansprechpartner

Prof. Dr. Viktor Krozer
 Tel. +49.30.6392-2789
 Fax. +49.30.6392-2642
 E-Mail viktor.krozer(at)fbh-berlin.de