Der Mikrowellen-Resonator ist eine essenzielle Komponente in der Plasmaquelle. Er beinhaltet die Elektroden, an denen das Plasma brennt, und fungiert als Impedanzwandler für die verschiedensten Lastzustände. So muss vor der Plasmazündung die nötige Zündspannung von einigen hundert Volt erreicht werden und nach der Zündung eine effektive Leistungseinkopplung ins Plasma erfolgen. Das Plasma ändert leistungsabhängig seine Mikrowelleneigenschaften und nimmt somit großen Einfluss auf den Resonator und auf die gesamte Mikrowellenerzeugung in der Plasmaquelle. In der Animation ist der zeitlich aufgelöste Reflexionsfaktor (VBW: 400 MHz) des Resonators bei Plasmazündung gezeigt. Deutlich erkennbar ist der große Impedanzsprung, der erheblich auf den Oszillator zurückwirkt. In der Abbildung ist ein Resonator gezeigt, der für den Betrieb unter atmoshärischen Bedingungen optimiert ist. Gut erkennbar ist das brennende Plasma, welches durch ein kleines Fenster sichtbar wird. Durch die Strömung des jeweiligen Prozessgases wird das Plasma aus dem Resonator getrieben. Im gezeigten Fall wurde Druckluft verwendet.