Integrierte Mikroplasmaquelle
Prototyp der integrierten Mikroplasmaquelle

Quellendesign

Das FBH untersucht verschiedene Ansätze für Plasmaquellen und die zugehörigen Leistungsoszillatoren.

  • Resonatoren
    Zu einer Plasmaquelle gehören Elektroden oder Antennen, die das eigentliche Plasma mit Energie versorgen und ein Leistungsgenerator, der die nötige hochfrequente elektrische (Mikrowellen-)Leistung erzeugt. Elektroden und Transformation sind im FBH-Konzept in einer einzigen Baugruppe integriert.
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  • Oszillatoren
    Zum Resonator gehört ein Oszillator, der die erforderliche elektrische Leistung abgibt. Hier befindet sich das Kernstück, der vom FBH entwickelte GaN-Leistungstransistor.
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