Anwendungen

Für atmosphärische Plasmaquellen gibt es vielfältige Anwendungen. Das FBH verfolgt in Zusammenarbeit mit Partnern, insbesondere der Aurion Anlagentechnik GmbH,  folgende Applikationen:

• Hautbehandlung
  Insbesondere von der Produktion von Stickstoffmonoxid (NO) durch Plasmaquellen erhofft sich die Medizin vorteilhafte Wirkungen bei der Wundheilung und Therapiemöglichkeiten bei verschiedenen Hautkrankheiten.   
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• Aktivierung
  Viele Verfahren der Oberflächentechnik, wie Beschichtung, Drucken, Lackieren oder Kleben erfordern eine Aktivierung der Oberfläche zur Verbesserung der Benetzung. Dies lässt sich mit einer Plasmaquelle kostengünstig an Atmosphäre durchführen.  
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Weitere wichtige Anwendungen, die derzeit in Vorbereitung sind und ein hohes Realisierungspotenzial versprechen:

• Entkeimung
  Eine weitere bedeutende Anwendung im medizinischen Umfeld und in der Lebensmittelindustrie ist die Entkeimung und Sterilisation. 
   
• Fotolackentfernung
  In vielen Anwendungen, insbesondere bei der Halbleiterfertigung, müssen Fotolacke entfernt werden. Dies kann derzeit entweder trocken in einem Niederdruck-Plasmaprozess oder nass in Bädern durchgeführt werden. Die Atmosphärenplasmatechnik verbindet die Vorteile beider Verfahren: Die trockene Plasmabehandlung kann ohne Vakuum an Atmosphäre durchgeführt werden.
    
• Ätzen
  Kleinste Strukturen werden bei der Halbleiterfertigung im Niederdruckplasma geätzt. Das Atmosphärenplasma bietet hier eine kostengünstige Alternative. Das FBH hat nachgewiesen, dass Chromschichten mit einer Chlorchemie an Atmosphäre geätzt werden können.
   
• Beschichten
  Durch die plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion, PEVCD) können Nanoschichten präzise bei Atmosphärendruck erzeugt werden.