Mikroplasmen

Mikrowellen-Plasmaerzeugung, insbesondere im 2,45 GHz-ISM-Band, eröffnet eine Vielzahl von Anwendungen in der Medizin, der Biologie, bei der Halbleiterfertigung und der industriellen Oberflächentechnik. Die vielfältig industriell genutzte Niederdruck-Plasmatechnik erfordert ständig Verbesserungen hinsichtlich Qualität, Effizienz sowie der Reduzierung von Kosten. Auf der anderen Seite gewinnt der neu entstehende Bereich der atmosphärischen Mikroplasmen immer mehr Aufmerksamkeit, da sich hier sowohl ein hohes Potential für neue Plasmaanwendungen als auch die Chance für den Transfer von Niederdruckanwendungen in den kostengünstigeren atmosphärischen Bereich ergibt.

In beiden Bereichen ist die Anwendung von Mikrowellenfrequenzen derzeit durch die Nachteile der verfügbaren Magnetron-Quellen und Probleme bei der Übertragung von Mikrowellenenergie vom Generator zum Plasma limitiert. Es besteht deshalb ein Bedarf für integrierte halbleiterbasierte Systeme aus Generator und Elektroden, die zuverlässig sind und einfach in die Anwendungen integriert werden können. Insbesondere kann das hohe Potential von effizienten hochdichten atmosphärischen Mikrowellenplasmen nur nutzbar gemacht werden, wenn kleine integrierte Plasmaquellen verfügbar sind.