µPQ – ultra-kompakte Atmosphärendruck-Mikrowellenplasmaquelle

Plasmen unter Atmosphärendruck ermöglichen die kostengünstige Behandlung von Oberflächen, beispielsweise Aktivierung und Reinigung von Kunststoffen oder Metallen. Das FBH hat hierfür eine äußerst kompakte Plasmaquelle entwickelt, welche ein Mikrowellenplasma mit bis zu 20 W bereitstellt. Damit können selbst temperaturempfindliche Materialien problemlos behandelt werden. Auch für medizinische Anwendungen ist sie geeignet.

Das sehr handliche Gehäuse (114 x 33 x 25 mm³) der Plasmaquelle beinhaltet einen Resonator zur Plasmaanregung, einen im ISM-Band um 2,45 GHz arbeitenden Leistungsoszillator sowie die Steuerungs- und Überwachungselektronik. Herzstück des Leistungsoszillators ist ein GaN-Transistor aus dem FBH, der das Mikrowellenplasma effizient speist.

  • µPQ-Mikrowellenplasmaquelle im Betrieb
    [+] µPQ: ultra-kompakte Atmosphärendruck-Mikrowellenplasmaquelle im Betrieb
  • µPQ: geöffnetes Gehäuse
    [+] µPQ: geöffnetes Gehäuse mit Blick auf die Elektronik

Die Quelle lässt sich sehr einfach in Betrieb nehmen; es werden nur eine 48-V-Gleichspannung, die Gas-Zuführung sowie eine Wasserkühlung benötigt. Darüber hinaus ist die Plasmaquelle äußerst flexibel einsetzbar, da sie mit einer Vielzahl von Gasen wie Argon, Luft, Sauerstoff und Stickstoff funktioniert. Selbst die Wasserkühlung lässt sich bei Bedarf auf Luftkühlung umrüsten. Daher kann die Plasmaquelle sowohl als eigenständige, handliche Lösung als auch als Teil von Industrieanlagen verwendet werden.

Weitere Informationen siehe Datenblatt.