Elektrische Prozessmesstechnik

Charakterisierung von Schichten und Überwachung von Prozessschritten durch elektrische Messungen an Teststrukturen (PCMs = Process control monitors) und Testbauelementen (i.a. spezielle Transistoren), Ergebnisse typisch als Verteilung von Parametern oder Kennlinien über den Wafer.

Ausstattung:

• 2 halbautomatische Waferprober
• Nadelkarten mit bis zu 18 Nadeln
• Koplanare Messsonden
• Strommessungen bis <100 pA