Frontend

Die Gruppe Frontend der Prozesstechnologie realisiert alle Prozessmodule zur Herstellung von Bauelementen auf Waferlevel. Die flexible Prozesslinie im Reinraumlaboratorium der Reinraumklassen ISO 5 und ISO 6 ermöglicht die Bearbeitung von Wafern unterschiedlicher Größen in Batch- und Einzelbetrieb. Alle Wafer werden überwiegend automatisiert mit industriell verfügbaren Prozessanlagen bearbeitet.  

Folgende Prozessmodule sind standardmäßig vorhanden:

• Lithographie
• Ätztechniken
• Depositionstechniken
• Ionenimplantation